作者:熊幼芽,彭春荣,夏善红 单位:中国科学院电子学研究所;国家自然科学基金委员会信息科学部 出版:《电子与信息学报》2009年第11期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZYX2009110460 DOC编号:DOCDZYX2009110469 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机械的基本特征、关键技术及应用前景》PDF+DOC2001年第01期 张芳,林良明 《硅微传感器的热挠曲及谐振频率的计算》PDF+DOC2000年第02期 刘月明,刘君华,张少君 《传感技术的研究现状》PDF+DOC1996年第01期 罗子铉 《硅微板条谐振式传感器谐振频率分析及计算》PDF+DOC1994年第06期 李志能,陆献尧,裴念 《微机械传感器计算机辅助设计系统》PDF+DOC1995年第S1期 费龙,钟先信,温志渝,徐涛 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC1995年第01期 刘忠玉,蔡丽梅 《微机械角速率传感器CMOS闭环驱动电路》PDF+DOC2011年第11期 尹亮,刘晓为,陈伟平,周治平 《谐振式硅微机械加速度计研究进展》PDF+DOC2011年第12期 李晶,樊尚春,李成,余朝发 《新型传感器的发展前景》PDF+DOC2008年第14期 高慧芳 《微机械加工技术及其在传感器中的应用》PDF+DOC2013年第07期 齐向前
  • 该文提出了一种闭环自激式驱动的微型电场传感器方案。利用自动增益控制的原理实现闭环自激驱动,使得微传感器能够始终工作在谐振状态,且振动幅度保持稳定。用matlab-simulink工具对系统进行了仿真,结果表明,当传感器的谐振频率发生0.5%的漂移时,系统可以重新捕捉并锁定到新的谐振频率,和开环驱动方案相比,传感器振幅的衰减度从30%降低到0.1%之内,灵敏度从缩减50%改进到缩减0.1%之内。

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