作者：费龙,钟先信,温志渝,徐涛 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1995年第S1期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB5S1.0470 DOC编号：DOCYQXB5S1.0479 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。

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