作者:熊娟,顾豪爽,吴雯,杜鹏飞,胡明哲 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2009年第08期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2009080100 DOC编号:DOCCGJS2009080109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 提出通过改变溅射气压获得倾斜于C轴的AlN薄膜的制备方法,探讨了倾斜AlN薄膜的生长机理。以3对交替沉积的Ti—Mo金属层为布拉格声学反射层,采用MEMS工艺制备了基于倾斜AlN薄膜的、以剪切模式振动的体声波液体传感器,并对器件的S11参数进行测试分析,得到传感器的中心频率为0.78GHz,表明该器件在生物液相检测领域具有一定的应用前景。

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