作者：张兵,滕霖,李秉实,王东辉,樊正云 单位：北京航空精密机械研究所 出版：《航空精密制造技术》2009年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHJZJ2009030070 DOC编号：DOCHJZJ2009030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 变栅距光栅线位移传感器工程样机完成后，进行了常态性能试验及环境试验，针对试验中出现的温度漂移问题，通过理论分析、试验验证、软件仿真，证实光栅组件的双金属片式翘曲为产生温漂问题的主要原因，并利用ANSYS-Workbench模拟得到解决方案，通过改进后的筒状腔体结构，使得温漂量值从12nm降到2nm以内。

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