作者:吕川 单位:中国吉林高新技术人才市场 出版:《才智》2009年第25期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCAIZ2009250600 DOC编号:DOCCAIZ2009250609 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 在表面结构最优的基底上制备的介孔硅基底WO3基薄膜气敏微传感器,并对其进行表面结构,电学性能和气敏性能分析。在室温下介孔硅基氧化钨薄膜气敏元件对体积分数为20×10-6的NH3的灵敏度可达到18.2,50oC灵敏度为1.35。

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