作者：张灵霖,车录锋,李玉芳,王跃林 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2009年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2009100110 DOC编号：DOCCGJS2009100119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 随着电容式加速度传感器的广泛使用，对其品质因子、谐振频率等关键参数的器件级测试显得尤为重要。本文提出了一种简单有效的加速度计品质因子测试方法——阶跃响应测试法，详细分析了其测试原理及测试结果，并与传统的静电激励扫频测试法进行了对比。结果表明：两种测试方法中等效电刚度的不同，造成了测试结果的差异。

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