作者:刘建生,刘明华,何世堂 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2009年第S1期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2009S10410 DOC编号:DOCYBJS2009S10419 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • Love波传感器的波导层和吸附层通常是不同材料的,一般先在整个器件表面覆盖一层声波导层材料,然后在感应区域对应的波导层上涂镀吸附层,但是这样会增大延迟线的插入损耗。文中设计了一种不连续波导层的Love波延迟线,即在感应区域,吸附层直接镀在压电基片上,同时兼作声波导层;在其他区域覆盖声波导层材料。实验器件制作在ST-90°X石英晶体上,中间感应区域用Au作波导层和吸附层,其他区域采用SU-8光刻胶作声波导层,结果表明,采用这种结构的延迟线可以降低损耗2 dB以上。

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