作者：赵俊明,王文廉 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2018年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2018110070 DOC编号：DOCCGJS2018110079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对金属衬底上的绝缘层厚度测量的需求，研究了一种基于边缘电场传感器测量方法。位于同一平面的传感电极形成边缘场电容，边缘电场穿透绝缘层后在衬底表面发生突变。用三电容模型分析了传感器的测量原理，衬底作为一个浮动电极分别与两个传感器电极构成平行极板电容，与边缘场电容共同构成传感电容。通过Ansoft Maxwell软件进行二维有限元仿真，讨论了电容结构参数对传感电容的影响。实验结果表明，当边缘场电容传感器应用于金属衬底上的绝缘层测量时，表现出边缘场电容与平行板电容复合的特性，而且传感器灵敏度高。当绝缘层厚度相比电极长度较小时，电极的间距对传感器电容输出影响小。

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