作者：李晓琴,赵双双,牛海霞 单位：中国科协科普部;山东省科协 出版：《科技经济导刊》2018年第02期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJJKJ2018020310 DOC编号：DOCJJKJ2018020319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 一种新型的热隔离式微机电系统的气体质量流量传感器，其内部的结构为加热电阻器和上下游测温电阻器集合，本身采用的是隔离悬梁式的结构，器件间隔240μm，并在此过程中要对恒温差的电路设计要点进行全面分析，并最终制作系统电路。在经过测试并得出相应的结果之后，我们可以得知传感器本身的相应速度非常高，而且输出的信号非常平滑，因此非常适合在工业和医疗领域进行运用。

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