《硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制》PDF+DOC

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5. 《典型位移传感器分类研究与时栅传感器特点分析》PDF+DOC 对现有广泛使用的主要位移传感器和全新原理的时栅位移传感器，按其测量基准、测量原理、数学模型和刻划媒介等方面的不同进行了科学分类，分析其间的联系与差别、优势与不足、各自适用的场合等技术特征。介绍时栅在测量原理上的先进性，经权威部门——中国测试技术研究院检定：目前圆式、直线式时栅的测量精度分别达到&am......
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