作者：鲍娜娜,谭晓兰,刘扬,吕博 单位：黑龙江省机械科学研究院;黑龙江省机械工程学会 出版：《机械工程师》2019年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXGU2019100090 DOC编号：DOCJXGU2019100099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 与传统的传感器相比，MEMS传感器结构的微小变差将会对其性能的稳定性产生较大影响，因此将稳健设计应用到MEMS传感器的结构设计中具有十分重要的意义。文中以锆钛酸铅(PZT)纳米纤维MEMS压电式传感器为例，分析其主要结构和工作原理，对其进行压电性能分析，并建立了基于随机模型的稳健设计数学模型。开发相应的算法程序，并求得稳健设计解。对稳健设计的结果进行分析，结果表明稳健设计解在设计变量和噪声因素发生变差时具有稳健性。

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