作者：郝晓辉,徐立新,崔占忠,陈曦 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2009年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2009060070 DOC编号：DOCGXJM2009060079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《Kionix公司推出消耗电流减半的6轴MEMS传感器》PDF+DOC2016年第21期 日经 《基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置》PDF+DOC2017年第08期 闻小龙,彭春荣,杨鹏飞,陈博,夏善红 《静电场耦合微机电系统的动态模型》PDF+DOC2001年第03期 高钟毓 《MEMS固态引信硅微结构的力学分析与设计》PDF+DOC2000年第S1期 金磊,高世桥,李文杰 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰 《基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真》PDF+DOC2003年第Z1期 裴强,夏善红,龚超,白强,陈绍凤 《一种AlN基热隔离MEMS阵列风速传感器设计》PDF+DOC2012年第12期 赵文杰,施云波,罗毅,李国龙,周真 《非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪》PDF+DOC2009年第S1期 彭春荣,刘世国,张海岩,郭鑫,夏善红 《MEMS加速度传感器的引信数据采集系统设计》PDF+DOC2008年第02期 刘晓明,王录涛 《引信MEMS远距离解除保险机构》PDF+DOC2008年第03期 石庚辰,李华

    • 引信可以利用空中目标运动产生的静电场信息对目标进行探测，而MEMS的特殊性能非常适合于引信静电探测器的设计。在引信有限的体积内布设MEMS静电探测阵列，通过对目标静电场信息进行检测，可以获得目标的位置和速度信息。本文运用表面加工工艺设计了一种MEMS薄膜电极的垂直振动式电场传感器阵列。介绍了该电场传感器探测单元及阵列的结构、组成及工作原理，说明了该器件的加工工艺。通过MEMS静电探测单元的空间布阵，研究了引信MEMS静电探测阵列对目标定位的原理，推导了目标定位的公式，使用MEMS静电探测阵列探测了目标的静电场，实现了对目标位置的定位。

    📙 相关资料

    1. 《Kionix公司推出消耗电流减半的6轴MEMS传感器》PDF+DOC 日本罗姆半导体集团所属Kionix公司开发出了消耗电流较以往减小50%的6轴MEMS(微机电系统)传感器模块——KXG07和KXG08，其中，KXG07为封装外形尺寸为3mm&#215；3mm&#215；0.9mm的16端子栅格阵列(LGA)；而KXG08为封装外形尺寸为2.5mm&......
    2. 《基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置》PDF+DOC 为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外，无法在静电高危区域使用，难以测量运动人体带电情况等难题，该文研制出基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置。提出一种新型检测电极与敏感芯片相连结构，显著增大了电场感应面积，增强了灵敏度。设计11个检测电极分布式布置形成门体结构，成功实现人体头......
    3. 《静电场耦合微机电系统的动态模型》PDF+DOC 研究静电场耦合微机电系统（Ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ，简记为 ＭＥＭＳ）的动态模型问题。首先，给出了耦合静电场的输入／输出两端点对模型，讨论了微机电系统的独立变量对的选择与分析方法。其次，叙述了所研制的典型微结构，包括ＳＥＭ照片、有限元分析的振动模态，以及简化模型......
    4. 《MEMS固态引信硅微结构的力学分析与设计》PDF+DOC 讨论了微机电固态引信核心子系统 (即微传感器系统 )的设计和分析 ，并针对典型的弹性质量系统 ，建立了其过载变形的模型 ，给出了用于计算位移加速度关系系数的方法...
    5. 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC 对微机电系统技术的现状及其发展进行了介绍，并探讨了微机电系统技术在引信中的应用...
    6. 《基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真》PDF+DOC 报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ，具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ，描述了设计方案 ，介绍了计算机模拟仿真结果...
    7. 《一种AlN基热隔离MEMS阵列风速传感器设计》PDF+DOC 采用微机电系统(micro-electro-mechanical system，MEMS)技术设计和制作了一种基于氮化铝(aluminum nitride，AIN)基热隔离四阵列热流量风速风向传感器，并同时集成了一个环境温度传感器。在厚度为0.2 mm的AlN基片上通过光刻剥离工艺和激光微加工工艺实......
    8. 《非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪》PDF+DOC 针对工业中的表面电势测量应用，研制了一种新型的基于微机械加工技术(MEMS技术)的微型静电压仪。为了提高器件的信噪比和灵敏度，传感器敏感结构基于谐振式工作原理，并采用差分激励和差分敏感的结构设计。基于高速数字芯片和数字信号处理技术，研制了传感器的数字化检测系统原理样机。该传感器可实现非接触式表面电势......
    9. 《MEMS加速度传感器的引信数据采集系统设计》PDF+DOC 论述了侵彻引信系统的数据采集系统设计与实现。该系统采用MEMS阵列式加速度传感器获取冲击过程中的加速度值，将可测量加速度范围提高105g以上。利用FPGA芯片实现八路并行数据采集，通过对输入数据的有效选择和64阶数字FIR滤波处理，实现了高速冲击加速度的高精度测量；同时减小了引信数据采集系统的体积，......
    10. 《引信MEMS远距离解除保险机构》PDF+DOC 针对微机电系统(MEMS)加工技术的特点，对引信MEMS远距离解除保险机构与传统引信机构在结构上的差异进行分析，提出引信MEMS远距离解除保险机构形态的特点，及在设计时应注意的一些问题。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。