作者：彭春荣,刘世国,张海岩,郭鑫,夏善红 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009S11090 DOC编号：DOCYBJS2009S11099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对工业中的表面电势测量应用，研制了一种新型的基于微机械加工技术(MEMS技术)的微型静电压仪。为了提高器件的信噪比和灵敏度，传感器敏感结构基于谐振式工作原理，并采用差分激励和差分敏感的结构设计。基于高速数字芯片和数字信号处理技术，研制了传感器的数字化检测系统原理样机。该传感器可实现非接触式表面电势测量，在距离目标表面20 mm位置，该传感器最小分辨电压优于10 V，精度优于10%。文中还进行了摩擦泡沫表面电势的测量，试验结果表明：该传感器可反映表面电势的变化和电荷衰减。

    📙 相关资料

    1. 《纤毛式MEMS矢量水声传感器的仿生组装》PDF+DOC 提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术.期望结合MEMS工艺和仿生组装工艺技术，解决复杂结构的仿生制造问题.文中简单介绍了仿生学理论以及定向探测机理.采用MEMS基硅微机械加工技术完成了传感器微结构的加工.通过模仿鱼类侧线器官神经丘感觉器的仿生结构，完成了传感器仿生微结构......
    2. 《MEMS的未来十年属于执行器》PDF+DOC 过去几年，微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)备受关注，但是大多数集中于MEMS传感器应用，在可以预见的未来十年内，MEMS执行器即将大放异彩。其实，MEMS包含传感器和执行器MEMS里面包含了传感器(sensor)和执行器(actuator)，二者......
    3. 《机械振动应力下IMU内MEMS传感器的抗振研究》PDF+DOC 针对惯性测量单元(IMU)内部微机电系统(MEMS)传感器粘固在印刷电路板(PCB)上，外界载体产生的机械振动使其受迫振动，长时间作用会引发传感器机械疲劳、结构断裂以及性能退化等问题，根据结构动力学原理，分析双自由度系统模型，并运用MATLAB软件进行仿真，以找出影响因素及其设定范围；同时，保证在加......
    4. 《基于MEMS电场传感器的直流验电器系统设计》PDF+DOC 为了对高压直流输电(HVDC)的传输线进行可靠的带电状态检验，提出并设计了一种基于微机电系统(MEMS)电场传感器的非接触式直流验电器系统。MEMS电场传感器用于测量DC电场。为了实现对电场信号的采集和处理，设计了以32位嵌入式微处理器为核心的非接触式直流验电器系统。通过声光预警模块实现有电提醒，简......
    5. 《机械故障信息监测MEMS高频加速度传感器》PDF+DOC 结合机械故障信息监测的需求，将微机电系统(micro electro-mechanical system，简称MEMS)传感器技术引入到机械装备的振动测量中，介绍了压阻式MEMS加速度传感器的检测原理、结构设计、微加工工艺及其关键技术。以“小变形-大应力”为敏感结构设计思路，研制了梁膜结构、孔缝双桥......
    6. 《微机电系统(MEMS)硅压阻式压力传感器分析研究》PDF+DOC 本文对MEMS硅压阻式压力传感器进行了相应理论的分析，并对其优缺点进行了论述。通过对微压力传感器芯片的探索，提出了一种新型结构：四岛平膜结构。运用仿真软件对四岛平膜型微压力传感器芯片进行了静力学分析。通过分析应力和形变平面云图及沿特定的路径分布图，发现该结构在边缘四边中点位置处出现应力的极大值，同时......
    7. 《意法半导体(ST)推出全球最小的3轴陀螺仪封装尺寸缩减近半》PDF+DOC MEMS(微机电系统)传感器供应商意法半导体(ST)进一步扩大运动传感器产品组合，推出全球最小的高性能三轴模拟陀螺仪。L3G3250A整合意法半导体已生产近15.4亿颗运动传感器所采用的稳健可靠、经市场验证的微机械加工技术以及公司积极的封装缩减蓝图，能够满足下一代应(游戏机、虚拟实境输入设备、运动控......
    8. 《基于MEMS航姿参考系统的角度估计算法研究》PDF+DOC 为解决行人导航系统中，由于采用的基于微机械加工技术(MEMS)的惯性传感器精度较低，计算误差会随时间积累的问题，在基于微机电系统(MEMS)的航姿参考系统(AHRS)基础上，提出了一种动态过程修正算法，通过利用静止条件判断，进行角度校准，减少角度累积计算误差.在双轴转台进行实际测试结果表明，角度计算......
    9. 《MEMS陀螺仪开机漂移的补偿》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)陀螺仪体积很小，开机时产生的功耗会导致较大升温，造成电性能漂移严重，增加启动时间。为解决这个问题，分析了MEMS陀螺仪中对温度敏感的环节，并建立温度模型。通过对温度特性的补偿得到最小化的开机漂移。然后设计了一款MEMS陀螺仪电路以实现开机漂移的补偿。实测结果表明，采用该补偿方法......
    10. 《基于MEMS技术的对称式微波功率传感器的设计研究》PDF+DOC 近年来，随着微机械加工技术的飞速发展，被广泛应用在微波领域中。微波功率在微波信号的产生以及传输等各个环节的测量是必不可少的，而微波功率传感器是最常见的测量工具，由于传统的微波功率传感器容易造成误差。因此，提出了一种基于MEMS技术的对称式微波功率传感器，本文对此设计进行重点探讨。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。