作者：冯勇建,谢雪望,刘建彰,冯永奇 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008040440 DOC编号：DOCCGJS2008040449 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 给出一种用于义齿压力测量的微型电容式传感器的研制工艺和封装测试。文中根据电容式压力传感器的原理，采用MEMS工艺，研制出微型传感器。在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2mm平整的方形小坑，将传感器分布式埋植入底基，并用自制的施加压力的装置对传感器进行测试，从而检测出压力对口腔下方组织的作用力。测量结果表明，该传感器能够准备地测量出当牙齿咬合时，义齿基托所承受的力和力的分布。该传感器性能良好，具有比较稳定的输入与输出关系，适用于口腔恶劣环境下测量义齿对口腔下方组织作用力。

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