作者：施云芬,施云波,刘月华,冯侨华,赵文杰,雷廷平 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2008年第06期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2008060210 DOC编号：DOCGXJM2008060219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用多孔上电极叠层微结构，以真空镀膜技术形成气敏膜，采用MEMS微加工技术研制了气体传感器。依据等效电路和工艺边界条件，通过电导公式推导出传感器的输出电导提高了103倍，解决了有机半导体的信号采集问题。通过SEM微观形貌，确认蒸发电流100~120 A、蒸发时间8~12 s为电极成膜最佳条件；气敏膜表面呈现二次化学反应融合的200 nm左右“米粒状”活性颗粒状态，均匀一致，孔隙有序。测试结果表明：比例系数为0.15~0.35的硫酸掺杂CuPcxPANI1-x对SO2有最佳的灵敏度；考虑到减少H2S气体干扰，选择CuPc0.35PANI0.65为气敏材料，在加热电压VH为1~2.5 V时提高了传感器的灵敏度特性和响应恢复特性，响应时间为30 s；传感器输出特性为单对数线性关系，检测范围为0~200&#215；10-6；经6个月的稳定性考核，其输出阻抗漂移≤&#177；5%，灵敏度漂移≤10%。

    📙 相关资料

    1. 《基于混合电动势型SO_2传感器的研制及接口电路设计》PDF+DOC 利用钠离子的快速离子导体固体电解质为离子导电层，NaRe(SO_4)_2稀土硫酸钠复盐为敏感电极，设计并研制了一种混合电动势型SO_2传感器核心元件。在实验室条件下的非平衡态气氛中，对此核心元件进行了二氧化硫体积分数的敏感性能测试。根据传感器的检测原理及输出信号特性，设计了微弱信号检测电路，由此组装......
    2. 《意法半导体MEMS传感器下一步怎么走》PDF+DOC 2015上海世界移动大会，意法半导体(简称“ST”)带来MEMS领域基于运动、触控、环境、近距离、飞行时间等各类传感器的应用产品，遍及消费电子、汽车和工业应用等各个领域。早在十多年前，ST开始介入传感器业务，从最早的任天堂Wii游戏机到iPhone手机，ST通过技术革新将MEMS传感器带入大宗消费电......
    3. 《有机敏感材料梳状电极电容SO_2传感器研究》PDF+DOC 利用SO2能与有机物中的某些基团形成可逆的弱加和物、改变电介质的介电常数、使电容发生变化的特点，制备出新型SO2气体传感器.这种传感器对SO2的灵敏度和选择性较高，具有良好的再现性和稳定性，响应时间较短，具有广泛的应用前景。...
    4. 《微机械加工的微结构型电化学传感器》PDF+DOC 微结构型电化学传感器是应用发展中的微机械加工技术结合传统的电化学传感技术创立的新一代的电化学传感器，而微机械加工技术与多种高新技术学科的相互交叉，又将拓宽微结构型电化学传感器研究的新领域。本文在简要介绍微机械加工技术的基础上，对前类微结构型电化学传感器作了归纳，其中也提及作者近年来的研究工作，并对后......
    5. 《全固态控制电位电解型SO_2气体传感器的研制》PDF+DOC 采用三电极结构 ，Nafion 117膜为中间固态电解质 ，研制一种新颖的全固态控制电位电解型SO2 气体传感器。研究表明 ：其响应时间、底电流、结构性能等均优于Au Nafion膜作为中间电解质的半固态控制电位电解型SO2 气体传感器与全液态SO2 气体传感器。在SO2 气体间断监测上具有较好的应......
    6. 《全固态SO_2气体传感器的研制》PDF+DOC 研究了一种新型的用于监测SO2气体的全固态气体传感器.首先将胶体金催化剂喷涂到聚四氟乙烯多孔膜上，然后再控制一定的温度和压力，压到Nafion117膜上，作为工作电极.该传感器表现出较快的响应，较低的底电流和噪声，以及较好的稳定性。...
    7. 《一种环境可控的MEMS微结构离面动态变形测试系统》PDF+DOC 利用Linnik显微干涉技术和环境控制技术，研制了一套环境可控的微机电系统(MEMS)微结构离面动态变形测试系统，该系统可测量不同温度、不同压力下MEMS微结构的离面动态变形情况。测试系统的环境控制装置可提供0～300℃的温度变化和0.1～0.6MPa的压力变化。利用测试系统对不同压力下绝压型硅微压......
    8. 《纤毛式MEMS矢量水声传感器的仿生组装》PDF+DOC 提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术.期望结合MEMS工艺和仿生组装工艺技术，解决复杂结构的仿生制造问题.文中简单介绍了仿生学理论以及定向探测机理.采用MEMS基硅微机械加工技术完成了传感器微结构的加工.通过模仿鱼类侧线器官神经丘感觉器的仿生结构，完成了传感器仿生微结构......
    9. 《基于MEMS技术的气体传感器》PDF+DOC 综述了目前国内外主要MEMS气体传感器的原理，包括谐振式微悬臂梁型、声表面波型、阻抗变化型、声光法、气体光谱、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)检测法。对各种传感器的特点进行了比较。...
    10. 《用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉传感器的性能测试》PDF+DOC 针对一种用于微结构几何量测量的微机电系统(MEMS)三维微触觉式传感器，开展了传感器的性能测试，系统评价了该传感器的性能。为了检测传感器的输出信号，提出了敏感梁上排布16个压阻的三维差动式压阻排布方式，并研究相应的压阻信号的全桥检测方法和微弱信号的调理电路，研究了基于高精度坐标定位平台的传感器三维性......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。