作者：张国军,陈尚,薛晨阳,张斌珍,张开瑞 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2009年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2009030080 DOC编号：DOCNMJM2009030089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《纤毛式MEMS传感器技术研究》PDF+DOC2014年第12期 陈尚,曹晓瑞,陈永强,刘涛,张家雄 《磁方位修正MEMS矢量水声传感器研制》PDF+DOC2018年第05期 宫占江,李金平,毕佳宇,孙立凯 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC2005年第03期 江建明,娄利飞,汪家友,杨银堂 《双T型MEMS仿生矢量水听器的设计与测试》PDF+DOC2013年第02期 刘林仙,张国军,许姣,张文栋 《高灵敏度扇面纤毛式MEMS矢量水听器》PDF+DOC2018年第04期 杨晟辉,丁俊文,张国军,裴毓,尚珍珍 《非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪》PDF+DOC2009年第S1期 彭春荣,刘世国,张海岩,郭鑫,夏善红 《用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉传感器的性能测试》PDF+DOC2008年第01期 李源,邵力,栗大超,胡小唐,赵大博 《硅微矢量水声传感器的封装及测试方法研究》PDF+DOC2008年第05期 陈尚,薛晨阳,张斌珍,张国军,乔慧,张开锐 《封装胶残留致MEMS振动传感器失效分析》PDF+DOC2019年第S1期 傅成城,徐兴烨,高成,黄姣英 《消费者需求推动MEMS技术接近现实——专访意法半导体副总裁模拟、MEMS和传感器事业部总经理Benedetto Vingna》PDF+DOC2012年第05期 李健

    • 提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术.期望结合MEMS工艺和仿生组装工艺技术，解决复杂结构的仿生制造问题.文中简单介绍了仿生学理论以及定向探测机理.采用MEMS基硅微机械加工技术完成了传感器微结构的加工.通过模仿鱼类侧线器官神经丘感觉器的仿生结构，完成了传感器仿生微结构的组装，制作出纤毛式硅微仿生矢量水声传感器的模型样机.最后，完成了传感器的校准测试.测试结果表明，该水声传感器不但体积小、质量轻、结构简单，而且具有“8”字型的指向特性.该水声传感器的声压灵敏度为-197.7 dB(0 dB=1 V/μPa)。

    📙 相关资料

    1. 《纤毛式MEMS传感器技术研究》PDF+DOC 首次综合国内外纤毛式MEMS传感器的研究成果，分别介绍了基于纤毛仿生原理的三维微触觉传感器、三维微力传感器、微声传感器、水流传感器、微几何测量传感器以及矢量水声传感器等。该类型传感器充分地将仿生学和MEMS技术结合起来，具有结构新颖精巧、体积小、功耗低、响应快、温漂小、精度高等优点，为开发具有自主知......
    2. 《磁方位修正MEMS矢量水声传感器研制》PDF+DOC 介绍了一种磁方位补偿微机电系统(MEMS)矢量水声传感器。采用电容原理MEMS技术构造内部振子，并与信号处理电路紧靠方式设计，可减小噪声干扰并抑制信号衰减。利用磁方位修正技术，对MEMS矢量水声传感器判定的方位进行修正，解决了单个矢量水声传感器定向精度不高问题。传感器完成了国家一级计量站标定和磁方位......
    3. 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC 介绍了单片集成MEMS技术相对传统混合(hybrid)方法的优势；分析了单片集成MEMS技术实现的难点，同时，给出了目前与CMOS工艺兼容的多种单片集成MEMS的技术特点、工艺流程；详细阐述了目前各种post CMOS技术。最后，给出单片集成MEMS技术的未来发展趋势。...
    4. 《双T型MEMS仿生矢量水听器的设计与测试》PDF+DOC 根据当前声纳系统的需求，以MEMS技术为依托，结合仿生原理、压阻原理，提出了一种双T型矢量水听器。在分析T型梁结构力学特性的基础上，详细介绍了两种不同尺寸微结构的设计、加工和测试。采用ANSYS软件仿真，得出两种微结构的谐振频率分别为1 993.3 Hz和10.17 kHz；利用MEMS加工工艺加工......
    5. 《高灵敏度扇面纤毛式MEMS矢量水听器》PDF+DOC 目前微机电系统(MEMS)矢量水听器的研究出现瓶颈。大量实验表明，水听器的灵敏度与探测带宽存在着相互制约关系。为保证水听器具有20~500 Hz的针对远距离船舶辐射噪声的可探测带宽，急需提高MEMS矢量水听器在低频探测的灵敏度。该文在普通纤毛式MEMS矢量水听器的基础上，提出在柱形纤毛上集成十字扇面......
    6. 《非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪》PDF+DOC 针对工业中的表面电势测量应用，研制了一种新型的基于微机械加工技术(MEMS技术)的微型静电压仪。为了提高器件的信噪比和灵敏度，传感器敏感结构基于谐振式工作原理，并采用差分激励和差分敏感的结构设计。基于高速数字芯片和数字信号处理技术，研制了传感器的数字化检测系统原理样机。该传感器可实现非接触式表面电势......
    7. 《用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉传感器的性能测试》PDF+DOC 针对一种用于微结构几何量测量的微机电系统(MEMS)三维微触觉式传感器，开展了传感器的性能测试，系统评价了该传感器的性能。为了检测传感器的输出信号，提出了敏感梁上排布16个压阻的三维差动式压阻排布方式，并研究相应的压阻信号的全桥检测方法和微弱信号的调理电路，研究了基于高精度坐标定位平台的传感器三维性......
    8. 《硅微矢量水声传感器的封装及测试方法研究》PDF+DOC 针对目前矢量水声传感器存在的高灵敏度、低频检测以及小型化等问题，提出了一种新型的硅微MEMS矢量水声传感器.利用敏感材料的压阻效应?传感器精巧的微结构以及硅微MEMS技术，实现矢量水声传感器的低频特性和小型化的可行性.以声场中的刚硬圆柱在声波作用下的声散射问题作为切入点，对传感器的同振原理进行分析，......
    9. 《封装胶残留致MEMS振动传感器失效分析》PDF+DOC 随着电子产品的微型化和智能化，MEMS(Micro-electromechanical Systems，微机电系统)得到了广泛使用，其中具有代表性的就是MEMS振动传感器，其可靠性问题越来越被重视。本文针对MEMS振动传感器封装胶残留致失效的问题，从传感器的结构和原理开展分析。其常见的失效原因包括硅......
    10. 《消费者需求推动MEMS技术接近现实——专访意法半导体副总裁模拟、MEMS和传感器事业部总经理Benedetto Vingna》PDF+DOC MEMS(微机电系统)技术深受运动、加速度、倾斜以及振动等传感器应用的欢迎。根据市场调研公司IHSiSuppli的报告，2011年意法半导体消费电子MEMS产品销售额增幅超...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。