作者：韩磊,黄庆安,廖小平 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2008年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2008040350 DOC编号：DOCBDTX2008040359 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种热电式微波功率传感器的二维热分布解析模型，通过分析传感器的各种结构参数对热分布的影响，给出了热电式微波功率传感器的优化设计.为了获得高灵敏度，给出了设计膜的厚度、匹配电阻与热电堆热端的距离、热电堆悬浮部分的长度等结构参数的原则，并利用Ansys模拟结果和解析结果进行对比验证，结果显示两者吻合较好，说明了解析模型的适用性，可在设计该类传感器时参考。

    📙 相关资料

    1. 《热电式MEMS微波功率传感器的热学特性研究》PDF+DOC 热电转换效率直接影响热电式MEMS微波功率传感器的性能。着重对衬底掏空结构的热电式微波功率传感器进行了研究。将热电式微波功率传感器分成三个区域，建立了傅里叶模型，研究背面刻蚀的长度与厚度对热电堆热端温度的影响，发现热电堆两端温差与背面刻蚀的长度、厚度成正比。利用有限元仿真软件ANSYS，对不同刻蚀长......
    2. 《MEMS微波功率传感器拉格朗日模型的研究》PDF+DOC 为了改善热电式微机电系统(MEMS)微波功率传感器的综合性能，首先对负载电阻至热电堆的距离、热偶长度、热偶数目建立灵敏度、噪声系数和时间常数的理论解析模型。根据理论解析模型，分析得到了时间常数、噪声系数对于灵敏度的制约作用。然后基于拉格朗日乘数法建立了在特定噪声系数、时间常数限制下的灵敏度优化解析模......
    3. 《热电堆式光电传感器暂态模型》PDF+DOC 本文描述了热电堆式光电传感器的暂态模型，并对常用的二种模型进行了解算.所获数学表达式可为该类传感器的优化设计提供理论依据。...
    4. 《MEMS微波功率传感器等效电路模型的研究》PDF+DOC 为了提高热电式微机电系统(MEMS)微波功率传感器的灵敏度，需要对传感器的热电特性进行研究。首先根据热-电变量之间的等效关系建立了传感器的等效电路模型，利用该模型研究了不同的GaAs衬底厚度对负载电阻电-热转换能力的影响；接着建立理论解析模型研究热传导、热对流、热辐射对不同衬底厚度的传感器的电-热转......
    5. 《激光功率密度检测系统设计》PDF+DOC 采用三星公司生产ARM9系列中的S3C2440A芯片作为处理器，通过热电堆传感器和热电偶传感器采集功率信号和温度信号，以ADS1274芯片为核心的AD转换电路对采集到的信号进行模数转换，经处理器处理后将数据显示在全彩LCD触摸屏上。利用ADS1274芯片的特性提高了模数转换速率，简化了电路设计；由于......
    6. 《热电式MEMS微波功率传感器模型的研究》PDF+DOC 为了提高热电式微机电系统(MEMS)微波功率传感器的灵敏度特性，建立了噪声系数、时间常数和灵敏度的理论解析模型。根据理论解析模型，分析得到了影响噪声系数、时间常数的首要因素、次要因素；然后，探究了噪声系数和时间常数对灵敏度特性的制约；最终，发现制约热电式MEMS微波功率传感器灵敏度特性的两个关键结构......
    7. 《热流传感器特性和标定方法分析》PDF+DOC 本文介绍了热流传感器和它的柝定方法，在对热流传感器作传热分析和计算的基础上，详细讨论了该传感器的结构原理和特性。...
    8. 《仪器的改进使高速功率测量成为可能》PDF+DOC 改进的热和二极管传感器技术增加了动态范围，提高了测量速度...
    9. 《间接加热式MEMS微波功率传感器的模拟与设计》PDF+DOC 在提出间接加热终端式MEMS微波功率传感器的结构和工艺的基础上，对其基本单元：共面波导(CPW)、终端电阻和热电堆之间进行了匹配性设计，用软件HFSS进行了模拟，模拟结果包括共面波导与接触垫间的阻抗匹配的分析以及热电偶的数目和热电堆的接近对CPW性能影响的分析。根据这些模拟结果，传感器中接触垫与共面......
    10. 《基于MEMS技术的对称式微波功率传感器的设计研究》PDF+DOC 近年来，随着微机械加工技术的飞速发展，被广泛应用在微波领域中。微波功率在微波信号的产生以及传输等各个环节的测量是必不可少的，而微波功率传感器是最常见的测量工具，由于传统的微波功率传感器容易造成误差。因此，提出了一种基于MEMS技术的对称式微波功率传感器，本文对此设计进行重点探讨。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。