作者：白雪婧,胡加杨,李龙飞,王德波 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2018年第12期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2018120180 DOC编号：DOCYQXB2018120189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了提高热电式微机电系统(MEMS)微波功率传感器的灵敏度，需要对传感器的热电特性进行研究。首先根据热-电变量之间的等效关系建立了传感器的等效电路模型，利用该模型研究了不同的GaAs衬底厚度对负载电阻电-热转换能力的影响；接着建立理论解析模型研究热传导、热对流、热辐射对不同衬底厚度的传感器的电-热转换能力的影响，推导出相应的负载电阻温度分布，验证了等效电路模型；最终，在等效电路模型的基础上建立灵敏度与噪声系数模型，综合考虑它们之间的制约关系，得到了使传感器综合性能最佳的衬底厚度设计区间。根据建立的等效电路模型，对特定衬底厚度下制备的热电式MEMS微波功率传感器进行实验测试，频率测量范围达到30 GHz，输入微波功率从1 mW增加至100 mW。该功率传感器结构的灵敏度分别为0.184 3 mV/mW@1 GHz、0.130 1 mV/mW@10 GHz、0.101 3 mV/mW@20 GHz、0.071 8 mV/mW@30 GHz，并且该结构具有较大的动态测试范围。

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