作者：余柏林,甘志银,罗小兵,曹蕙,徐静平 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008010120 DOC编号：DOCCGJS2008010129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了横膈膜式热膜流量传感器，横膈膜采用多层薄膜结构，增加其机械强度，同时保持其较低的横向热导率。模拟了横膈膜上温度的分布，分析了在不同流速下各点的温度变化。通过实验和理论模拟，得到了比较一致的结论：在低流速下，上游的冷却作用使温度明显下降，而下游的温度增加；上下游的温度差变化比较明显；随着流速增加到一定程度时，各种变化趋势变缓，上游远端甚至出现温度饱和现象，由于空气流速也对所有的芯片表面有冷却作用，下游远端也出现温度略微下降的现象，导致了上下游的温度差增加趋势变缓。因此，通过远端的电阻温度变化反映出来的流量量程较小。本研究中在加热电阻上游和下游放置两对测试电阻，提高传感器的精度和增加其量程。叠加信号电压相比单个的输出明显加强，单个信号的最大值为15.7mV，而叠加后的信号增强到28.6mV。同时叠加后的测试量程也得到拓宽。

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