作者：代富,高杨,官承秋,周斌,何移 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2013年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2013010090 DOC编号：DOCBDTQ2013010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《热温差型微流量传感器热敏电阻自热的补偿方法》PDF+DOC2013年第01期 代富,高杨,官承秋,周斌,何移 《热膜式气体流量传感器温度补偿电路研究》PDF+DOC2011年第12期 谌福华,王长虹,程颖,齐虹 《加速度传感器在气体微流量检测中的应用》PDF+DOC2007年第04期 林引,谢昭莉,陈皎 《温度场对热膜式气体流量传感器颗粒物沉积影响》PDF+DOC2017年第05期 孙中圣,孙建强,李小宁 《基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展》PDF+DOC2005年第03期 彭杰纲,周兆英,叶雄英 《微机电系统热式流量传感器计量原理的数值研究》PDF+DOC2016年第06期 段所行,董胜龙,李国国,张金龙,陶仁义 《热能表配对温度传感器检定的探讨》PDF+DOC2003年第05期 邱萍 《一种基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计》PDF+DOC2007年第11期 沈广平,吴剑,张骅,秦明,黄庆安 《非分光红外甲烷传感器的研制》PDF+DOC2007年第11期 吴永忠,陈丹艳,郭太峰,程文娟,徐海卫,郑淑丽,刘勤勤 《抑制SnO_2传感器温度干扰的研究》PDF+DOC2006年第04期 张子谦

    • 热温差型微流量传感器的性能受多个因素的影响，如环境温度的变化、供电电源的波动、加热电阻的冷却和导线电阻的引入等。通过ANSYS软件对环境温度及加热电阻温度的改变进行了有限元仿真，发现当两者的温度差值为恒定值时，传感器的输出信号偏差较小。从环境温度与加热电阻温度差值恒定的思路出发，结合目前补偿方法存在的不足——导线引入误差、环境温度检测电阻的自热效应使其检测出错误的环境温度、加热电阻受被测流体冷却后使测量发生偏差以及供电电源波动的影响等，提出了一种可行的补偿方案，包括对前端信号采集电路的优化和后续单片机电路的设计，使影响流量传感器测量性能的诸多因素被削弱，且控制也更灵活。通过分析验证，在相同测试条件下，所提出的方法比常用补偿方法的测试精度高出约1.2%，误差为0.2%。

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