作者：王新华,王晓亮,冯春,冉军学,肖红领,杨翠柏,王保柱,王军喜 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2008年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2008010290 DOC编号：DOCBDTX2008010299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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