作者：牛永波,冯洁,陈翔,郑金平 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2008年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2008060130 DOC编号：DOCGNCQ2008060139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 分析了应用于磁性生物检测的GMR传感器的工作原理。直流磁控溅射法制备了Ni65Fe15Co20/Cu多层膜，研究了室温下多层膜的GMR效应对缓冲层(NiFeCo)厚度、间隔层(Cu)厚度及铁磁层(NiFeCo)厚度等参数的依赖关系，得到了GMR值达8.8%的多层膜样品：缓冲层(NiFeCo)5nm，间隔层(Cu)2.4nm，铁磁层(NiFeCo)1.6nm，且饱和场低、磁滞小、灵敏度较高，符合磁性生物检测技术的要求。制备了基于优化参数NiFeCo/Cu多层膜的GMR传感器，对器件的性能进行了测试，结果表明所制备的GMR传感器能够检测磁微球。

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