作者：郑华军,刘莹,周顺斌 单位：中国机械工程学会;广州机械科学研究院 出版：《润滑与密封》2008年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFRHMF2008060290 DOC编号：DOCRHMF2008060299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微构件粘附是造成微机电系统(MEMS)失效的主要原因，也是导致MEMS性能不稳定难以走向市场的关键所在。因此，对于MEMS粘着问题的研究，微观粘着测试技术显得极为重要。综述了国内外微观粘着测试技术的研究进展和现状，介绍了基于应变片、光学检测、电容式传感器、压电式力传感器和分析天平等原理的粘着测试装置，分析了它们的工作原理和特点。

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