作者：石庚辰 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》2003年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS2003030010 DOC编号：DOCIKJS2003030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 叙述了各种微机械加速度传感器的工作原理、特点、研究现状及发展趋势。

    📙 相关资料

    1. 《应用于引信固态安全系统的硅微加速度传感器研究》PDF+DOC 微机电系统 (MEMS)将对引信的发展提供其它技术不可比拟的技术支撑。该文论述了基于MEMS引信固态安全系统的概念及作用原理 ；针对可应用于引信安全系统的硅微压阻式加速度传感器 ，用有限元法计算了不同厚度悬臂梁结构在1 0 0 0 0 g加速度作用下的应力分布、固有频率 ，设计了力敏电阻电桥结构...
    2. 《硅微加速度传感器过载能力的研究》PDF+DOC 过载能力是加速度传感器的重要参数之一，缺少过载能力是早期硅微机械- 岛结构的加速度传感器未能实用的重要原因.本文采用微机械限位结构解决了梁-岛结构压阻式加速度传感器的抗过载能力，并对设计进行了优化.采用这种方法使量程在50gn以下的器件具备了1000gn以上的过载能力，达到了实用的要求.本文还对测量......
    3. 《降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法》PDF+DOC 本文分析了硅微机械加速度传感器横向灵敏度产生的原因，并介绍了降低它的方法。...
    4. 《谐振式微机械惯性传感器》PDF+DOC 对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述，分析了各自的应用特点。从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性，必有广阔的应用和发展前景。...
    5. 《压阻式硅微型加速度传感器的研制》PDF+DOC 利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器，对制作的加速度传感器样品进行了动态测试，单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn，双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.6μV/gn，结果与理论设计值基本吻合。...
    6. 《MEMS加速度传感器的原理及分析》PDF+DOC 主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速度传感器，从物理结构的角度对这几种传感器的测量原理进行了分析，不但着重介绍了已经较为成熟且形成产业化的硅微电容式、压阻式、热电耦式加速度传感器，而且对目前较为前沿的光波导式加速度传感器也进行了一些分析和介绍。...
    7. 《MEMS加速度传感器计量检测技术的研究进展》PDF+DOC MEMS加速度传感器在计量检测中有着广泛的应用。本文综述了MEMS加速度传感器的发展概况，总结了其分类方法、工作原理及特点，并提出发展趋势。...
    8. 《高冲击压阻式加速度传感器》PDF+DOC 高冲击微机械压阻式加速度传感器是典型的微机械产品，具有体积小、量程大、频带宽、直流响应等特点，在需要高冲击信号测量的场合有重要应用价值。其基本工作原理是以半导体的压阻效应为基础，常用梁岛结构，...
    9. 《冲击硅微机械加速度传感器的封装与封装性能分析》PDF+DOC 给出了一种压阻式冲击硅微机械加速度传感器的器件封装结构并对其封装的性能进行了分析。加速度传感器的封装采用可伐合金做管壳，采用环氧粘合剂将芯片粘结在金属基板上，采用金丝连接芯片铝焊点和管脚，使用环氧灌封胶充填管壳内空余的区域，来缓冲芯片受到冲击时承受的冲击应力。用ANSYS软件对封装后的器件进行了模态......
    10. 《叠加电桥检测的加速度传感器设计》PDF+DOC 基于压阻效应的叠加电桥检测法加速度传感器采用超对称“八悬臂梁—质量块”结构，构成惠斯通电桥的力敏电阻器布放在悬臂梁的两端，4个惠斯通电桥的输出电压叠加后作为传感器的最终输出，有效提高了加速度传感器的灵敏度。通过数学建模仿真分析验证了方案的可行性。性能测试结果表明：该加速度计的灵敏度为1.1381mV......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。