作者：何昱蓉,何常德,张文栋,宋金龙 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2018年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2018020400 DOC编号：DOCYDSG2018020409 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对现实环境下加速度方向多维测试的需求，提出了一种“四边八梁”的MEMS低加速度g(g=9.8m/s2)值压阻式三轴加速度传感器。根据其工作原理进行结构设计，并通过ANSYS与Matlab软件分析、优化结构参数。设计工艺流程并进行离子注入、ICP干法刻蚀及深硅刻蚀等关键工艺加工，最终实现传感器器件加工及封装。利用精密离心机测得传感器3个轴向的的灵敏度分别为44.35μV/g、49.52μV/g、232.89μV/g，验证了设计方案可行性。

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