作者：郭彤,陈津平,傅星,胡小唐 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》2008年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB2008060170 DOC编号：DOCGXXB2008060179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用集成聚焦式测头的纳米测量机实现了高精度的台阶高度标准评价，该系统的测量范围可以达到25mm&#215；25mm&#215；5mm。描述了纳米测量机的工作原理，通过内嵌激光干涉仪和角度传感器的实时测量与反馈，实现高精度定位与扫描。聚焦式测头只作为零点传感器，与3个激光轴交于一点，避免了阿贝误差影响。通过将聚焦式测头的输出信号引入到纳米测量机的数字信号控制器中，实现定位系统的辅助测量，减小了聚焦式测头的非线性对测量结果的影响。根据ISO5436-1：2000的评价方法对经过标定的台阶高度进行评价，14次测量的均方根(RMS)偏差为0.237nm。

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