作者：师树恒,王斌,朱健强 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2007年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2007070020 DOC编号：DOCYBJS2007070029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研制了一种高精度电容式位移传感器，详细介绍了该传感器的基本工作原理和提高传感器精度的关键技术，对电容传感器的具体电路进行模块化设计；分析影响传感器精度与稳定性的因素，采用完全等电位屏蔽技术，对正弦激励电路、参考电容、传感器测头、电源进行技术改进，最后对电容传感器进行系统标定。实验证明：该传感器测量范围为&#177；5~&#177；40μm，测量分辨率&lt；10 nm，测量精度&lt；20 nm。

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