作者：李振伟,刘泽元,刘畅,朱熙,王晶 单位：中国计算机自动测量与控制技术协会 出版：《计算机测量与控制》2018年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJZCK2018060720 DOC编号：DOCJZCK2018060729 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC1999年第04期 张兴,郝一龙,李志宏,王阳元 《MEMS——电子领域的新宠》PDF+DOC2004年第02期 黄萍,孙继萍 《MEMS技术及应用》PDF+DOC2003年第03期 涂苏龙,黄新波 《微摩擦测试仪力传感器的研究》PDF+DOC2002年第04期 黎海文,贾宏光,吴一辉,李锋 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《硅微机械谐振式压力传感器闭环方法》PDF+DOC2012年第10期 孙晋豪,樊尚春,邢维巍 《MEMS器件常用微弱信号检测技术研究》PDF+DOC2010年第02期 杜晓强,吴柯锐 《基于MEMS技术的硅微机械流体传感器的原理及应用》PDF+DOC2007年第03期 张树生,韩克江,成健 《基于XML的MEMS设计过程描述语言》PDF+DOC2007年第10期 闫向彤,江平宇 《CFCC-SiC基底NiCr/NiSi薄膜热电偶制备及性能研究》PDF+DOC2014年第03期 马旭轮,苑伟政,马炳和,邓进军

    • 为满足返回式航天器再入过程中瞬态高温的测量需求，文章基于微机械电子系统(Micro-Electro Mechanical Systems，MEMS)技术设计了一款新型表面瞬态测温热电偶传感器；该型测温传感器结构设计采用便于安装且与被测物表面易于接触的针型结构，并选用K型(NiCr-NiSi)热电偶材料作为传感器热电极，对传感器热电偶热结点及其引线设计、制作工艺进行研究，并采用磁控溅射技术实现了传感器测温端面热接点及其引线的制备；最后，采用自行设计的基于LXI总线的测温传感器性能测试系统对该型测温传感器进行了物理试验验证，结果表明该型薄膜热电偶相比普通热电偶，能够更好地与被测物表面有效贴合，测量温度可高达800℃，响应时间较短，相对误差小于0.5%，能够很好地应用于返回式航天器表面高温的瞬态测温。

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