《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC

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2. 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC 在阐述ＭＥＭＳ技术的基本概念、意义、传感ＭＥＭＳ的基本模型和国内外研究状况的基础上，重点阐述 ＭＥＭＳ技术的加工工艺及在未来的发展景前景．...
3. 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC 对微机电系统技术的现状及其发展进行了介绍，并探讨了微机电系统技术在引信中的应用...
4. 《微机电系统的研究与分析》PDF+DOC 详细介绍了微机械电子系统的内涵。内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域 .还介绍了微机械电子系统加工工艺 ，阐明了其涉及的科学技术问题 ，对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论。...
5. 《微机电系统(MEMS)技术及发展趋势》PDF+DOC 主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。...
6. 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用，并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响。...
7. 《微电子机械系统技术应用研究》PDF+DOC 微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域，文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术，讨论了微电子机械系统的研究领域、发展现状及发展趋势。...
8. 《微机电系统技术进展》PDF+DOC 概述了微机电系统(MEMS)的发展史，综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术，微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统，介绍了微机电系统在当今社会各个领域的广泛应用。...
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10. 《微机电系统的进展分析与研究》PDF+DOC 系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统 ，微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺 ，以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用。介绍了我国在发展微机电系统所做的努力。提出我国必须走研究与应用并重的道路 ，使微机电系统的研究走向产业化 ，才能为我国在微电子工业的......