作者:周俊静,殷晨波,涂善东,Daniel Sonnleithner 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2007年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2007030000 DOC编号:DOCCGQJ2007030009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 对声表面波(SAW)氢传感器的研究目前主要集中在改善其敏感性、加快响应速度、增强稳定性以及消除温度的影响。要实现这些目标,一是改善SAW氢传感器的关键部件——敏感薄膜的性能;二是改进传感器的结构。对主要研究机构在这些方面的研究进行了系统的综述,并提出了发展方向。

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