作者:关荣锋 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2007年第Z1期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2007Z10550 DOC编号:DOCBDTQ2007Z10559 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS机油压力传感器设计》PDF+DOC2009年第06期 关荣锋,王晓雪 《陶瓷压阻式机油压力传感器研制》PDF+DOC2017年第05期 邬林,陈丛,钱江蓉,赵潇,胡国俊 《MEMS传感器的发展及其在煤矿井下的应用研究》PDF+DOC2014年第07期 李军,赵军 《车用MEMS传感器原理与发展》PDF+DOC2008年第03期 邵毅明,张帆 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰 《MEMS传感器技术在汽车上的应用研究与展望》PDF+DOC2010年第09期 黄军辉,杨旭志,陈述官,廖中文 《MEMS技术开创压力传感器新商机》PDF+DOC2009年第09期 廖惠如 《MEMS耐高温压力传感器封装工艺》PDF+DOC2009年第09期 孟超,赵玉龙,赵立波,王新波,刘元浩 《基于强度解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器》PDF+DOC2006年第05期 葛益娴,王鸣,陈绪兴,李明 《MEMS压力传感器现状及其在弹药上的应用》PDF+DOC2013年第02期 姜波,齐杏林,赵志宁,吕静
  • 研究了封装工艺对传感器可靠性的影响。分析和实验结果表明,机油压力传感器封装材料及各个工艺步骤都会影响传感器的性能和可靠性。贴片胶性能不能满足可靠性要求,会引起传感器信号漂移和高温不稳定性;引线键合强度不够,在工作中会断裂;硅油化学稳定和耐温性能不够好,会造成传感器高温输出信号不稳定,硅油中的空气和杂质会造成传感器零点输出偏大,使传感器的精度下降等。

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