作者：郑飞雁,王豪才,王永进 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2007年第Z1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2007Z11000 DOC编号：DOCBDTQ2007Z11009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • EW_GⅠ是基于GMR(巨磁阻)传感器，用于检测血样中特种病毒的正在研发的生物芯片系统。叙述了其巨磁阻传感器阵列以及后端锁相放大IC电路的设计及实现。该阵列包含32个GMR传感器单元和2个传感器参考单元，形成多路的半桥式惠斯通电桥，用于感应绑定磁球的附加磁场。每个单元(100μm&#215；100μm)由长1mm、宽7μm的巨磁电阻蜿蜒而成，该电阻采用[Ag(2nm)/NiFe(6nm)/Cu(2.2nm)/CoFe(4nm)]20结构，采用Ag作为镜面层，其饱和磁场小于等于30mT，GMR值约6%，单个传感器电阻约为780Ω。配套的锁相放大芯片包括了信号通道、参考通道、前置低噪声放大器、带通滤波器、可控增益放大器、相敏检测电路、正交移相电路、差分直流放大电路八个部分，整个设计功耗小于50mW@Vcc=3V。

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