《谐振式低速气体流速微传感器的理论建模》PDF+DOC

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2. 《微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟(英文)》PDF+DOC 提出一种基于昆虫风速接受器的微谐振式仿生传感器，用以测量低速气体流动．由于设计的复杂性，使用有限元模拟对其进行评估．基于有限元模拟得到流体雷诺数与其绕流无限长梁的粘滞系数的数值关系，从而有助于确定该传感器的线性工作范围．使用有限元模拟进行流体结构耦合分析，得到气体流速与固有频率偏移的数值关系．有限元......
3. 《基于微型杠杆结构谐振式差分微加速度传感器的理论建模(英文)》PDF+DOC 为了提高灵敏度和消除交叉轴串扰，提出了一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器， 分析了该结构差分检测和消除交叉轴干扰的原理．推导了该设计的理论模型，包括结构建模和轴向力作用下谐振微梁的固有频率偏移的推导，得到了待测加速度与输出固有频率偏移的关系．使用有限元模拟来证实理论模型．模拟结果说......
4. 《基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件》PDF+DOC 对以E型圆膜片为一次敏感元件、一对对称的硅梁谐振子为二次敏感元件的复合差动敏感元件的力学特性进行了分析。给出了其敏感压力、差压、集中力与加速度时，梁谐振子固有频率随被测量变化的解析计算模型。...
5. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器 ，简述了其工作机理 ；从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践、开环特性测试等方面介绍了该传感器研究与研制过程中近期取得的阶段性研究结果...
6. 《热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算》PDF+DOC 针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构，利用有限元法系统地对其温度场进行了模拟计算。分析并得出了激励电阻在梁谐振子上位置、长度、宽度变化时；梁谐振子长度、宽度、厚度变化时；以及激、拾振电阻共同作用时，梁谐振子温度场的分布规律。...
7. 《谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪》PDF+DOC 提出了一种谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器，用于微机械谐振式传感器各关键环节的测试、分析与评估。主要解决测试对象特性模型、微弱信号处理、测试数据分析评估等问题，并将有关理论和技术集成为一台模块化的、具一定开放性的测试仪器。该测试仪器对于深入掌握谐振式硅微结构传感器谐振子和闭环系统的特性和优化方法......
8. 《谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文)》PDF+DOC 有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器，仔细分析新结构的几个主要振动模态，优化结构参数，证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点和对于测量的不良影响进行分析。...
9. 《谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究》PDF+DOC 本文研究了谐振式硅微结构压力传感器在单频激励和双频激励情况下的非线性振动特性。利用多尺度法研究运动方程中三次非线性项对传感器频率特性的影响规律，提出了改善谐振式硅微结构传感器特性的方法以及在实现闭环自激系统时应采取的措施。...
10. 《微谐振传感器同频干扰的建模与消除》PDF+DOC 主要研究了静电激励/电容拾振谐振式硅微加速度传感器的同频干扰问题，分析了几种干扰源，建立了同频干扰的电路等效模型，提出一种基于双端激励/双端检测的结构，采用二次差分的方式消除同频干扰。...