作者：郑学军 单位：中国仪器仪表学会仪表材料分会;重庆仪表材料研究所 出版：《功能材料信息》2007年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCX2007010110 DOC编号：DOCGNCX2007010119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微电子技术的迅猛发展和集成化程度的急速提升，致使铁电/压电薄膜材料愈来愈受到人们的关注与重视。本文从三方面介评了铅基和铋类铁电/压电薄膜材料的研究进展：(1)主要制备方法：脉冲激光熔融法(PLD)和金属有机物分解法(MOD)；(2)无铅铁电/压电薄膜微器件：铁电薄膜存储器和压电薄膜传感器；(3)铁电/压电薄膜及其微器件的可靠性。

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