《精密工作台光栅定位测量与控制系统的设计》PDF+DOC
作者:孙亮
单位:北京自动测试技术研究所
出版:《电子测试》2007年第01期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFWDZC2007010150
DOC编号:DOCWDZC2007010159
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定位测量与控制系统是精密仪器中的一个重要组成部分,特别是对高精度的仪器尤为重要。精密工作台光栅定位测量与控制系统是一种包括激光干涉仪、光栅、线纹尺、感应同步器、磁栅及码盘等多个元器件组成的精确的定位测量与控制系统系统。
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