作者:孙亮 单位:北京自动测试技术研究所 出版:《电子测试》2007年第01期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFWDZC2007010150 DOC编号:DOCWDZC2007010159 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 定位测量与控制系统是精密仪器中的一个重要组成部分,特别是对高精度的仪器尤为重要。精密工作台光栅定位测量与控制系统是一种包括激光干涉仪、光栅、线纹尺、感应同步器、磁栅及码盘等多个元器件组成的精确的定位测量与控制系统系统。

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