作者:郑志月,施玉书,高思田,李东升,李伟,李适,李庆贤 单位:中国计量测试学会 出版:《计量学报》2015年第01期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJLXB2015010040 DOC编号:DOCJLXB2015010049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《大量程纳米位移传感器的微纳加工制造》PDF+DOC2015年第10期 许卓,杨杰,王成,陈东红,丑修建 《超精密运动定位系统研究》PDF+DOC2018年第10期 王慧锋 《压力动态绝对校准方法研究》PDF+DOC2000年第03期 孔德仁,孙海波,朱明武,李永新 《电感式比较仪示值误差检定的一种新方法》PDF+DOC1998年第04期 廖澄清,朱小平 《“超”技术的展望》PDF+DOC1994年第02期 杨妹清 《JG-Ⅱ型自动补偿激光干涉仪》PDF+DOC1980年第02期 陈铁君 《自动气象站蒸发传感器校准系统的研究》PDF+DOC2014年第01期 邵炜剑,吕文华,行鸿彦 《基于STM32的时栅转台高精度自动标定系统设计》PDF+DOC2014年第03期 杨继森,何建,彭东林,冯济琴,郑方燕 《基于虚拟仪器技术的纳米时栅传感器实验研究》PDF+DOC2013年第12期 凌旭,王先全,冯济琴,蒲红吉 《校准电流传感器时存在的问题及采取的对策》PDF+DOC2013年第08期 谭金玉,陈曙光,赖晖
  • 介绍一种使用激光干涉仪结合单轴精密位移台对电容式位移传感器进行校准的方法。建立了一套高精度电容式位移传感器校准装置,利用单轴精密位移台位移与电压之间的关系产生纳米级的微小位移,同时使用激光干涉仪和待校准电容式位移传感器测量单轴精密位移台的微小位移。该装置可实现电容式位移传感器线性度、测量重复性以及测量分辨率的校准。实验验证了此校准方法的准确性和实用性,对影响校准的主要因素进行了分析,其综合不确定度为2.2 nm。

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