作者：赵萌,王金兴,邹博,冯彩慧,吴凤清 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2007年第Z1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2007Z10330 DOC编号：DOCBDTQ2007Z10339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用溶胶-凝胶法合成了对甲醛气体(HCHO)敏感的纳米晶TiO2材料。利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)等测试方法对TiO2纳米晶结构和表面态进行了表征。X射线衍射结果表明，随温度的增加，TiO2的晶型会由锐钛矿型逐渐转变为金红石型。制成了敏感元件，对甲醛气敏性能进行了测试。测试结果表明，500℃下焙烧2h所制得的锐钛矿型TiO2对甲醛气体有很好的敏感性能。

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