作者：王涛,仲思东,余学锋 单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《中国激光》2006年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJJZZ2006020250 DOC编号：DOCJJZZ2006020259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对对径测量传感器的校准方法进行分析和研究，指出了当前手工校准方法存在的弊端和精度低的原因。提出了采用激光干涉仪进行对径测量传感器校准的新构想，实现了被测量到光程差的转化，设计了相应的差动校准测量光路，有效地消除了阿贝误差的影响，校准精度从原来的2.0μm提高到0.14μm，同时可得到被测传感器完整的校准曲线，实现了对径测量传感器的高精度、连续化、全自动校准。

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