作者：高 单位：中国科学院上海技术物理研究所 出版：《红外》2006年第02期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWAI2006020040 DOC编号：DOCHWAI2006020049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用不可见光光学传感器的自动传感装置正在被越来越多地结合到工业和制造设施中。本专利说明书图 1所示的架空式红外传感运送装置就是一个典型的例子。这种运送装置装在一个自动净化室半导体晶片设施

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