作者：杨苗苗,陈德勇,王军波,陈健,毋正伟,陈李 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006060130 DOC编号：DOCCGJS2006060139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在测量硅微电容式加速度传感器时，由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰，提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况，作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点，并提出了一种微电容检测的改进电路，用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明，微加速度计灵敏度为1.63V/gn，可以检测到10-17F量级的电容值。

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