作者：龙侃,罗超,郭斌 单位：河南省科学技术信息研究院 出版：《河南科技》2010年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHNKJ2010120130 DOC编号：DOCHNKJ2010120139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 从电容的精确电学模型出发，根据MEMS电容的特点，建立了MEMS电容的PSPICE模型，对电容式MEMS传感器的机电耦合过程进行了分析，提出了建立其PSPICE仿真模型的一般方法，并以电容式微加速度计为例，介绍其PSPICE仿真模型建立的详细过程，并利用该仿真模型，对其闭环检测电路进行了PSPICE仿真，仿真结果表明该PSPICE模型能够精确模拟MEMS传感器的机电耦合行为。

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