作者:王奇,赵湛,耿照新,方震,曾欢欢,张博军 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2006年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2006030230 DOC编号:DOCCGQJ2006030239 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于氮化硅的压力传感器以及算法补偿》PDF+DOC2006年第03期 王奇,赵湛,曾欢欢,方震,张博军 《温度对硅-蓝宝石压力传感器影响研究》PDF+DOC2019年第06期 邹兴,黄漫国,李欣,郭占社 《PT14系列内调整集成压力传感器》PDF+DOC1991年第03期 《压阻变换压力传感器的性能预测模型(英文)》PDF+DOC2004年第02期 宋续,刘胜 《用PIC18F85J90实现电子血压计设计》PDF+DOC2010年第03期 《氮化硅薄膜传感器的平面加工工艺研究》PDF+DOC2008年第02期 谭六喜,赵根宝,刘胜,徐勇,冷毅,姚媛 《基于MS5534B的气压高度计系统的设计》PDF+DOC2008年第06期 王志刚,唐飞,王晓浩,熊继军 《数字压力传感器BP5607应用实现》PDF+DOC2013年第02期 胡正群,张丽荣 《在已开通的干线通信电缆区段加装意大利气压监测系统的原则及方法》PDF+DOC1994年第01期 于保民,潘宝元,叶品池 《一体化气压测试系统的设计》PDF+DOC2014年第08期 王俊峰,尤文斌,祖静,丁永红
  • 采用微机电系统(MEMS)技术制造的传感器具有体积小、重量轻、成本低等特点。基于S i3N4压力敏感膜,利用MEMS技术,设计了一种用于测量气压的传感器。采用应变电阻原理对压力进行测量,进行了理论分析计算,设计了工艺过程,制作出了器件样片。这种压力传感器的显著优点是结构简单、工艺过程容易。并且,在50~100 kPa的压力条件下,对传感器进行了测试,其精度达到了0.5%。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。