作者：谭六喜,赵根宝,刘胜,徐勇,冷毅,姚媛 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2008年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2008020180 DOC编号：DOCCGQJ2008020189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于氮化硅的压力传感器以及算法补偿》PDF+DOC2006年第03期 王奇,赵湛,曾欢欢,方震,张博军 《压力传感器中的比例电压输出信号》PDF+DOC2019年第12期 Nobert Rauch,施林生 《应变计式压力传感器口周力测量系统的建立》PDF+DOC1993年第03期 李克非,林珠,何惠明,张西正 《ISFET传感器不稳定性的起因及其改善技术研究》PDF+DOC1993年第04期 陈克铭,李国花,陈朗星,李夏,朱燕 《汽车用扩散硅压力传感器的设计》PDF+DOC 黄赓才 《压阻式压力传感器灵敏度与线性度的仿真方法》PDF+DOC2012年第02期 韩锐锐,张兆华,任天令,林惠旺,刘理天 《MEMS铁磁磁场传感器的研究》PDF+DOC2010年第07期 杜广涛,陈向东,林其斌,李辉,郭辉辉 《一种新型服装压力传感器的研究》PDF+DOC2009年第01期 周国鹏,吴世林,张智明 《电梯压力传感器线性度的有限元分析》PDF+DOC2008年第01期 刘志如,王春耀,陈志军 《基于Si_3N_4薄膜的压力传感器》PDF+DOC2006年第03期 王奇,赵湛,耿照新,方震,曾欢欢,张博军

    • 介绍一种以氮化硅薄膜为压力敏感膜、多晶硅为电阻应变计的压力传感器。该压力传感器先后采用2种不同的平面加工工艺进行加工，实际结果表明：改进后的工艺比较好。通过采用对称分布在一个敏感膜上的4只多晶硅电阻应变计串联组成惠斯通电桥的一个桥臂，减少桥臂电阻的制作误差。制作传感器样品并对传感器的电压输出特性进行了测试。测试结果表明：恒流激励的传感器的电压输出特性非常好，传感器具有过载保护功能。

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