作者：解旭辉,王芸,李婷 单位：中国计量测试学会 出版：《计量学报》2006年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLXB2006030020 DOC编号：DOCJLXB2006030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究开发了一种低成本、高精度的非接触式激光微位移传感器。该传感器采用光驱内激光头作为探测元件，利用其自动聚焦原理开发了S曲线法，同时提出了一种新的测量方法———自动搜寻法，将这两种方法相结合，用来测量复杂物体表面的面形，既可进行大量程的测量，也可进行较小量程内高分辨率的测量。大量程(1.8mm)内分辨率为2μm，在较小量程(200μm)内可达0.2μm。

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