作者:李鹏,李民强 单位:北京信息科技大学 出版:《传感器世界》2006年第12期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGSJ2006120020 DOC编号:DOCCGSJ2006120029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 结合厚膜技术、陶瓷技术研制了双电容结构的压力传感器,详细阐述了厚膜陶瓷电容式压力传感器的结构设计、工作原理、制备方法、测试结果。试验结果表明:研制的传感器工作稳定,测量精确,非线形误差低于1.0%,迟滞误差小于0.5%,测试电容和参考电容温度系数几乎一致。

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