《化爆材料瞬态切削温度的NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器的研制》PDF+DOC
作者：曾其勇,孙宝元,徐静,贾颖,崔云先,邓新禄,徐军
单位：中国机械工程学会
出版：《机械工程学报》2006年第03期
页数：6页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFJXXB2006030390
DOC编号：DOCJXXB2006030399
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针对化爆材料的切削特点，研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr／NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘，即用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技术首次成功在W18Cr4V高速钢基底上沉积绝缘性能良好的SiO2膜。对研制的薄膜热电偶温度传感器进行了静态和动态标定，结果表明传感器在0- 600℃测温范围内具有很好的线性和热稳定性，而且响应快，时间常数小于0．8 ms。热电偶薄膜与绝缘膜、绝缘膜与基体之间有足够的附着强度。该温度传感器已安装在现场使用，为国防工业部门的高效、安全生产提供了有力的保障。
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