作者：徐安桃,付敬业,郑义忠,叶声华 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006060230 DOC编号：DOCCGJS2006060239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用电容传感器测量小深孔的孔径，该系统使用直径较小的电容探针作为传感器件，电容仪器将孔径的变化转换为电压的变化，并通过USB接口将此电压信号输入到计算机系统中进行处理.论述了电容传感器的工作原理和电容仪器的转换电路的基本原理，设计了电容传感器测量小盲深孔孔径系统的总体方案，特别使用小于Φ3而大于Φ1深孔的内径自动检测，并对Φ3和7mm孔径进行了实际测量，并分析了测量所得到的数据，多次测量的标准差小于0.5μm，测量分辨率为0.05μm。

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