作者：张天林,郭哲颖,张青川,张泰华,何世平 单位：中国科学技术大学 出版：《中国科学技术大学学报》2006年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKJD2006050200 DOC编号：DOCZKJD2006050209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用一种静态和两种动态的检测技术，对红外辐射探测微悬臂梁式传感器材料的弹性模量进行了测试研究.在静态检测实验中，利用纳米硬度计直接测出传感器材料的弹性模量；在动态实验中，分别利用谱平面光学滤波法和多普勒测振仪得到微悬臂梁传感器结构的固有频率，再结合数值模拟计算求出传感器的等效弹性模量.通过几种检测结果的分析和比较，获得了更加精确的微梁传感器单元的弹性模量值，为微梁的优化设计和评估提供了可靠的参数。

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