作者：赵龙,张斌珍,段俊萍,崔建利 单位：中国技术经济学会 出版：《科学技术与工程》2015年第30期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKXJS2015300240 DOC编号：DOCKXJS2015300249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了一种以SU-8光刻胶为结构材料的微悬臂结构。通过控制紫外光刻过程中的曝光剂量，仅仅使光刻胶的上部分发生交联，下部分的光照强度不足以发生交联反应，制作了厚度从149μm到345μm不等的微悬臂结构，并通过分析得出了悬臂厚度与曝光剂量的关系式。结果显示，采用该方法所制作的悬臂结构具有质量轻、价格便宜、操作灵活性大等特点，为制作出复杂的三维空间悬臂结构奠定了基础。与传统以硅或金属材料为基础的微悬臂相比，能够更好地适应目前微型传感器的发展趋势，具有非常广阔的发展空间。

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