作者：杨明亮,谭秋林,熊继军,康昊,李晨 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014050210 DOC编号：DOCCGQJ2014050219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线无源压力传感器。电感器和电容器并联组成的LC谐振回路构成传感器的工作电路，采用厚膜工艺完成了平面螺旋电感器和平行板电容器的制备。传感器利用LC谐振回路的谐振频率对不同压力的响应来表征传感器的应变特性，采用2个电感耦合的方式来实现无线检测。测试结果显示：传感器的谐振频率随外加压力的增大而减小，其谐振频率变化对压力的响应灵敏度约为331.70 kHz/bar。

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